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潔凈室及潔凈室微塵檢測(cè)
發(fā)布時(shí)間： 2012-10-08 點(diǎn)擊次數(shù)： 7203次潔凈室及潔凈室微塵檢測(cè)
潔凈室（Clean Room） 是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的*。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5ｕM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。潔凈室狀態(tài)分為以下三種：
態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài)：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
動(dòng)態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。控管項(xiàng)目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3、溫度和濕度之控制。
4、壓力之調(diào)節(jié)。
5、 有害氣體之排除。
6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7、靜電之防制。
8、電磁干擾預(yù)防。
9、安全因素之考慮。
10、節(jié)能之考量。潔凈室之構(gòu)成
1.工業(yè)潔凈室
以無生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
2.生物潔凈室
主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為；
A、 一般生物潔凈室：主要控制微生物（細(xì)菌）對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
B、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）
潔凈室污染知識(shí)
1、發(fā)塵量
潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵量也不斷減少。
A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量zui大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發(fā)塵量zui大，上下分裝型次之，全罩型zui少；
C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍；
D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。
2、發(fā)菌量
工作人員產(chǎn)生的污染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的*脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。
5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。潔凈室標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
1.國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
（1）.潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-2001[1]
（2）.醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002
（3）.醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50457-2008
（4）.傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范
（5）.醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測(cè)試方法GB/T16292-1996
（6）.QS認(rèn)證質(zhì)量手冊(cè)
（7）.GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范行業(yè)應(yīng)用
凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，目前在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級(jí)差別也較大。
目前級(jí)別zui高的當(dāng)屬航天航空的航空倉(cāng)，基本是屬于1級(jí)，屬于領(lǐng)域，面積相對(duì)較小。
另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。潔凈室微塵檢測(cè)
粒子計(jì)數(shù)器
粒子計(jì)數(shù)器是測(cè)試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的儀器，由顯微鏡發(fā)展而來，經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計(jì)數(shù)器、激光空氣粒子計(jì)數(shù)器、PCS納米激光空氣粒子計(jì)數(shù)器的過程，其中因激光空氣粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試速度快、動(dòng)態(tài)分布寬、不受人為影響等各方面的優(yōu)勢(shì)，而成為近年來很多行業(yè)的主流產(chǎn)品。不同標(biāo)準(zhǔn)的分類
1、按測(cè)試原理：光散亂法測(cè)試（白光、激光）、顯微鏡法測(cè)試、稱重法測(cè)試、DMA法測(cè)試（粒徑分析儀）、慣性法測(cè)試、擴(kuò)散法測(cè)試、凝聚核法測(cè)試（CNC）等。
2、按流量：小流量 0.1cfm（2.83L/min） 大流量 1cfm（28.3L/min）
3、按形狀、體積大小：、臺(tái)式
4、按測(cè)試通道：?jiǎn)瓮ǖ溃ㄖ粶y(cè)某一種粒子徑）；雙通道（測(cè)試某兩種粒子徑）；多通道（測(cè)試多種粒子徑）
5、其他：粒子計(jì)數(shù)器的應(yīng)用領(lǐng)域空氣中的微粒在光的照射下會(huì)發(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長(zhǎng)、微粒折射率及微粒對(duì)光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強(qiáng)度和微粒大小而言，有一個(gè)基本規(guī)律，就是微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測(cè)定散射光的強(qiáng)度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子計(jì)數(shù)器的基本原理。實(shí)際上，每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光強(qiáng)度很弱，是一個(gè)很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號(hào)幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進(jìn)一步放大和甄別，從而完成對(duì)大量電脈沖的計(jì)數(shù)工作。此時(shí)，電脈沖數(shù)量對(duì)應(yīng)于微粒的個(gè)數(shù)，電脈沖的幅度對(duì)應(yīng)于微粒的大小。
LUYOR-365無塵室表面微粒檢測(cè)儀，產(chǎn)品表面落塵檢測(cè)儀
無塵室表面微粒檢測(cè)儀，產(chǎn)品表面落塵檢測(cè)儀主要由紫外線的照射，可檢測(cè)出帶有熒光的物質(zhì)。尤其對(duì)容易因靜電吸附難以清除的物質(zhì)（如纖維）具有佳的辯認(rèn)效果。（若能降低環(huán)境光度，辯認(rèn)效果更佳，可辯認(rèn)到1微米/um的塵埃）。 一般無塵室所普遍使用的Particle counter或是落塵監(jiān)控設(shè)備只能檢測(cè)出環(huán)境落塵質(zhì)量，不能檢測(cè)Particle落于何處。透過紫光微粒檢測(cè)儀照射產(chǎn)生的把反差效果，能輕易看到微小肉眼難以辯論的落塵。
輕量化的設(shè)計(jì)，內(nèi)建充電式鋰電池，配置可提式保管箱，適合攜帶使用。
LUYOR-365紫光微粒檢測(cè)儀典型應(yīng)用
無塵室設(shè)備及產(chǎn)品Particle清潔檢查
無塵室地面清潔檢查
曝光機(jī)柜框Particle清潔檢查
壓合鋼板清Particle潔檢查我公司銷售無塵室、潔凈室用的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，5通道的型號(hào)KANOMAX 3886、3887D ，3通道的中文顯示的KANOMAX 3887C；及LUYOR-365無塵室表面微粒檢測(cè)儀。
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